|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАН ДЛЯ ФИЛЬТРОВАНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2061535 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B01D067/00 B01D071/00 | | Аналоги изобретения: | Г.Н.Флеров и В.С.Барашенкова, УФН, 1984, т.114, вып.2, с.261-369. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - головной институт Всероссийского научного центра "ГОИ им.С.И.Вавилова" | | Изобретатели: | Дымшиц Ю.И.
Погорелый П.А. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - головной институт Всероссийского научного центра "ГОИ им.С.И.Вавилова" |
Реферат | |
Способ изготовления мембран для фильтрации включает операции локального облучения пленки или пластины пучками высокоэнергетических частиц / квантов излучения, электронов или ионов / и последующего травления. Перед облучением пленку или пластину растягивают, затем наносят слой эластичного резиста / в качестве которого можно использовать лэнгмюровскую пленку /. В облученном резисте вытравливают сквозные отверстия, снимают напряжение и сквозь образовавшиеся отверстия вытравливают сквозные каналы / поры / в подложке. Последовательность снятия напряжения и травления резиста может быть обратной. Перед травлением подложки ее можно подвергнуть дополнительному облучению сквозь отверстия в резисте. В качестве подложки можно использовать пленку с предварительно созданными в ней порами. После снятия механического напряжения с пленки размеры пор и расстояния между ними оказываются меньше, чем размеры зон облучения и их удаленность друг от друга. 7 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента