|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕМБРАННЫХ СИТ |  |
Номер публикации патента: 2061534 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | B01D067/00 B01D071/00 | | Аналоги изобретения: | Г.Н.Флеров, Барашенкова В.С., УФН, 1974, том 114, вып. 2, с.361-569. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физической оптики и оптики лазеров, информационных оптических систем - головной институт Всероссийского научного центра "ГОИ им.С.И.Вавилова" | | Изобретатели: | Дымшиц Ю.И.
Любарский С.В. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физической оптики, оптики лазеров и информационно-оптических систем - головной институт Всероссийского научного центра "ГОИ им.С.И.Вавилова" |
Реферат | |
Способ изготовления мембранных сит включает операции локального облучения пленки или пластины потоками высокоэнергетических частиц(квантов излучения, электронов или ионов)и последующего травления. Пленку или пластину перец облучением покрывают резистом в виде пространственно разделенных островков, а после облучения обрабатывают травителем, образующим отверстия в резисте и не воздействующим на пленку или пластину. Систему подвергают усадке и сквозь отверстия в резисте вытравливают в пленке сквозные поры травителем, не воздействующим на резист. Усадку можно производить перед травлением резиста, а пленку или пластину перед травлением можно дополнительно облучать потоками высокоэнергетических частиц сквозь отверстия в резисте. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента