|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ АНАЛИЗА КОЛИЧЕСТВЕННОГО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА |  |
Номер публикации патента: 2064707 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01J049/00 G01N023/00 | | Аналоги изобретения: | Патент РФ N 2008655, кл. G 01 N 23/00, 1991. Гусаров А.В. и др. Об использовании прямого механизма распыления для количественного анализа поверхности. - М., Наука, 1982, Поверхность, т.6, с. 42-48. |
| Имя заявителя: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН | | Изобретатели: | Зиновьев А.Н.
Синани М.А. | | Патентообладатели: | Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН |
Реферат | |
Сущность изобретения: в способе анализа количественного состава поверхности твердого тела, облучают поверхность пучком атомов или ионов, регистрируют масс-спектр распыленных частиц, определяют содержание элементов по интенсивности линий масс-спектра. При этом учитывают атомный номер частиц пучка, корреляционные диаграммы молекулярных орбиталей и условия образования внутренней вакансии в распыленной частице. Выбор энергии частиц и угла распыления на основании приведенных аналитических выражений обеспечивает образование внутренней вакансии в распыленной частице, что позволяет повысить степень ионизации распыленных частиц и обеспечить ее строгий контроль. 2 ил.,1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента