SU 1198308 А, 15.12.1985. SU 1713342 A1, 20.06.1996. JP 2000146096 A, 26.05.2000. US 5279129 A, 18.01.1994. JP 56054920 A, 15.05.1981.
Имя заявителя:
Физико-технический институт Уральского отделения Российской академии наук ФТИ УрО РАН (RU), Автономная некоммерческая организация "Инновационно-технологический центр Удмуртской республики" (RU)
Изобретатели:
Кожевников Владимир Изосимович (RU) Мерзляков Петр Геннадьевич (RU)
Патентообладатели:
Физико-технический институт Уральского отделения Российской академии наук ФТИ УрО РАН (RU) Автономная некоммерческая организация "Инновационно-технологический центр Удмуртской республики" (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано для хранения и дозированной подачи инертных или химически активных газов в вакуумные камеры любых приборов - аналитических, исследовательских, например в вакуумные камеры спектрометров. Система напуска газа включает заполняющую магистраль, соединенную через клапаны с высоковакуумной и форвакуумной откачными магистралями и с баллонами, и средства прогрева. Баллоны соединены с вакуумными объемами. Задачей изобретения является создание системы напуска газов, обеспечивающей высокую чистоту напускаемых газов или смесей газов, в том числе, в условиях сверхвысокого вакуума. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.