RU 2388109 C1, 27.04.2010. US 2010075445 A1, 25.03.2010. US 5997713 A, 07.12.1999. US 48744884 A, 17.10.1989.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Романов Сергей Иванович (RU) Вандышева Наталья Владимировна (RU) Данилюк Александр Фёдорович (RU) Семенова Ольга Ивановна (RU) Косолобов Сергей Сергеевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Реферат
Изобретение предназначено для использования в мембранных нанотехнологиях для производства нанофлюидных фильтров, биосенсорных устройств, приборов медицинской диагностики. Сущность изобретения: в способе получения кремниевой канальной матрицы после анодного травления пластины монокристаллического кремния дырочного типа с затравочными ямками на поверхности в растворе электролитов, содержащем ионы водорода и фтора, вскрытые микроканалы перекрывают пробками из наночастиц двуокиси кремния и на сплошной поверхности матрицы формируют низкотемпературным осаждением пленку пористого кремния, из пор которого затем создают каналы во всем нанометровом диапазоне. Техническим результатом изобретения является значительное уменьшение поперечных размеров каналов, диапазон которых 1-100 нм охвачен единой технологией изготовления, что позволяет расширить номенклатуру и удешевить изделия наномембранной техники на основе биосовместимого и высокотехнологического кремния. 6 з.п. ф-лы, 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента