US 5997713 А, 07.12.1999. US 4874484 А, 17.10.1989. US 5544772 А, 13.08.1996. US 5262021 А, 16.11.1993. WO 98/50604 A1, 12.11.1998. DE 19506165 A1, 23.05.1996. SU 1695970 A1, 07.12.1991.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Вандышева Наталья Владимировна (RU) Косолобов Сергей Сергеевич (RU) Романов Сергей Иванович (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области мембранных технологий и может быть использовано для производства микро- и нанофлюидных фильтров, биосенсорных устройств, приборов медицинской диагностики, а также при изготовлении элементов электронно-оптических преобразователей и рентгеновской оптики. В способе получения кремниевой микроканальной матрицы анодное травление пластины монокристаллического кремния дырочного типа с затравочными ямками на поверхности в водном растворе электролитов, содержащем ионы водорода и фтора, проводят в режиме изменяемой во времени плотности электрического тока по гиперболическому закону третьего порядка. Если в раствор добавляют поверхностно-активное вещество или спирт, имеет место экспоненциальный закон. В закон включают три постоянных коэффициента, зависящих от типа раствора электролитов и структурных параметров микроканальной матрицы. Улучшаются эксплуатационные характеристики кремниевых микроканальных матриц за счет придания микроканалам требуемого профиля. 10 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента