|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТЕРМОРЕЗИСТИВНОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ |  |
Номер публикации патента: 2085874 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01K007/16 G01F001/68 G01J005/20 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент США N 4548078, кл. G 01 F 1/68, 1985. 2. Патент США N 4624137, кл. G 01 F 1/68, 1986. |
| Имя заявителя: | Общество с ограниченной ответственностью "Сенсорные системы" (UA) | | Изобретатели: | Головнева Ирина Васильевна[UA]
Грудин Олег Михайлович[UA]
Заворотный Виктор Федорович[UA]
Иванов Павел Дмитриевич[UA]
Кацан Иван Иванович[UA]
Лупина Борис Иванович[UA]
Фролов Геннадий Александрович[UA]
Почтарь Владимир Иванович[UA] | | Патентообладатели: | Общество с ограниченной ответственностью "Сенсорные системы" (UA) |
Реферат | |
Использование: при изготовлении датчиков температуры, давления, тепловых и газовых потоков и т.д. Сущность изобретения: на кремниевой подложке формируют диэлектрическую пленку из слоев SiO2 толщиной 0,05 - 0,1 мкм и Si3N4 толщиной 0,1 мкм, на которую напыляют термочувствительный металлический слой. Подложку анизотропно травят для получения микромоста. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента