На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
РАСХОДОМЕР КОРИОЛИСА, СОСТОЯЩИЙ В ОСНОВНОМ ИЗ ПЕРФТОРАЛКОКСИ - СОЕДИНЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2312310 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01F001/84 | Аналоги изобретения: | WO 01/65213 A1, 07.09.2001. US 5918285 A, 29.06.1999. JP 5-026709 A, 02.02.1993. SU 1793224 A, 30.09.1992. |
Имя заявителя: | ЭМЕРСОН ЭЛЕКТРИК КО. (US) | Изобретатели: | ШЛОССЕР Мартин Эндрю (US) БЕЛЛ Марк Джеймс (US) УИЛЕР Мэттью Глен (US) МакНАЛТИ Дэниел Патрик (US) ПОЛАС Гари Эдвард (US) | Патентообладатели: | ЭМЕРСОН ЭЛЕКТРИК КО. (US) |
Реферат | |
Изобретение предназначено для измерения технологического материала, используемого при производстве полупроводниковых пластин для микросхем. Расходомер содержит по меньшей мере одну измерительную трубу, присоединенную концевыми частями к стойкам на верхней поверхности массивного основания в виде параллелепипеда для образования по существу неподвижных узлов на концевых частях.
|