БРОК Т. МЕМБРАННАЯ ФИЛЬТРАЦИЯ. - М.: Мир, 1987, с.9, 59-61. RU 2355466 С2, 20.05.2009. RU 2047334 C1, 10.11.1995. RU 84255 U1, 10.07.2009. RU 2330049 C1, 27.07.2008. RU 2006104627 A, 10.09.2006. EP 1666129 A1, 07.06.2006. EP 1972373 A1, 24.09.2008. EP 1849510 A1, 31.10.2007.
Имя заявителя:
Кузьмин Сергей Михайлович (RU), Матвеев Вячеслав Михайлович (RU), Мишачев Виктор Иванович (RU), Сергеев Олег Вячеславович (RU)
Изобретатели:
Кузьмин Сергей Михайлович (RU) Матвеев Вячеслав Михайлович (RU) Мишачев Виктор Иванович (RU) Сергеев Олег Вячеславович (RU)
Патентообладатели:
Кузьмин Сергей Михайлович (RU) Матвеев Вячеслав Михайлович (RU) Мишачев Виктор Иванович (RU) Сергеев Олег Вячеславович (RU)
Реферат
Изобретение относится к микроструктурным технологиям. Способ изготовления мембранного фильтра с одинаковыми размерами и формой пор включает облучение полимерной пленки излучением и травление (удаление) продуктов деструкции материала облученных участков полимерной пленки. Излучение вызывает локальную химическую деструкцию материала полимерной пленки. Облучение полимерной пленки производят синхротронным излучением. Излучение структурно упорядочено с помощью системы многолучевой решеточной интерференционной литографии. Излучение проводят в камере, заполненной газообразным водородом. Водород вступает на облучаемых участках полимерной пленки в фотохимическую реакцию с материалом полимерной пленки с образованием летучих продуктов, удаляемых во время облучения. Техническим результатом изобретения является получение мембранного фильтра с пористостью до 0,6, с упорядоченным расположением пор одинакового размера (от 1 нм и больше), круглых или эллиптических в поперечном и конических в продольном сечении. 13 з.п. ф-лы, 15 ил., 5 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента