RU 2110112 C1, 27.04.1998. SU 510532 A, 18.06.1976. US 7060615 B2, 13.06.2006. US 6054331 А, 25.04.2000. US 4952904 А, 28.08.1990. WO 01/93320 A1, 06.12.2001. EP 0855738 A2, 29.07.1998. KR 20040102539 A, 08.12.2004.
Имя заявителя:
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
Изобретатели:
Васильев Алексей Андреевич (RU) Соколов Андрей Владимирович (RU) Баранов Александр Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в процессах формирования пленочных элементов микроэлектронных устройств. Сущность изобретения: в способе нанесения платиновых слоев на подложку, включающем предварительное формирование на поверхности из оксида и/или нитрида кремния промежуточного адгезионного слоя из смеси нанокристаллов диоксида кремния и платины. Промежуточный адгезионный слой может быть сформирован толщиной 1-30 нанометров одновременным магнетронным распылением из двух магнетронов с мишенями из платины и диоксида кремния, соответственно. Изобретение обеспечивает повышение качества элементов, технологичности процессов, надежности при длительных сроках эксплуатации, адгезии наносимых слоев к подложке. 7 з.п. ф-лы, 3 ил.